特許

J-GLOBAL ID：200903093455431194

多層膜X線反射鏡

発明者： 石山 若菜
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-183594
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023796
出願日： 1997年07月09日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 軟X線領域において波長30.4nmのHe輝線スペクトル(He II)を反射しない多層膜X線反射鏡を提供すること。【解決手段】 軟X線領域における屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質からなる第1層2と、前記差が小さい物質からなる第2層3とを基板1上に交互に繰り返し積層してなる多層膜X線反射鏡において、前記積層における最上層4の厚さを波長30.4 nm の光に対する反射率を低減させる様に最適化したことを特徴とする多層膜X線反射鏡。

請求項（抜粋）：

軟X線領域における屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質からなる第1層と、前記差が小さい物質からなる第2層とを基板上に交互に繰り返し積層してなる多層膜X線反射鏡において、前記積層における最上層の厚さを波長30.4 nm の光に対する反射率を低減させる様に最適化したことを特徴とする多層膜X線反射鏡。

IPC (2件)：

G21K 1/06 ,  B32B 7/02 103

FI (2件)：

G21K 1/06 C ,  B32B 7/02 103