特許
J-GLOBAL ID：200903093458356282
静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052914
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241230
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 静圧軸受装置の生産コストを上昇させることなく、その軸受特性を改良する。【構成】 図示上面に基板等を保持する保持盤2は、支持台1の案内部材1a,1bに沿って、図示しない駆動装置によって移動される。保持盤2は、その下面に設けられた第1の底面静圧軸受パッド2bおよび第2の底面静圧軸受パッド2dによって支持台1上に非接触で支持される。第1の底面静圧軸受パッド2bは多孔質絞り型の静圧軸受パッドであり、第2の底面静圧軸受パッド2dはオリフィス絞り型の静圧軸受パッドである。これらの静圧軸受パッドは互の静圧軸受特性の欠点を補って軸受剛性の低下や振動を防ぐ。
請求項（抜粋）：
互に対向する一対の表面を、複数の静圧軸受手段から噴出される加圧流体によって非接触に支持する静圧軸受装置であって、前記複数の静圧軸受手段のうちの少くとも一つが、残りの静圧軸受手段の静圧軸受特性を補う静圧軸受特性を有することを特徴とする静圧軸受装置。
IPC (4件)：
F16C 32/06
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, B23Q 1/26
