特許

J-GLOBAL ID：200903093468102343

角速度センサ

発明者： 外山 元夫 ,  井上 和裕 ,  田中 克彦 ,  持田 洋一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230396
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075474
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 角速度センサにおいて、H型振動体を形成し、第1振動梁と第2振動梁の振動中心を押えることにより、振動エネルギが外部への漏れるのを低減し、角速度の検出感度を向上する。【構成】 基板12にポスト14を立設し、そのポスト14の先端側には、両側に延びる第1振動梁16,16と各第1振動梁16の先端から両側に延びる第2振動梁17,17とからなるH型振動体15を形成する。また、各第1振動梁16には振動発生用圧電体20、各第2振動梁17には捩れ振動検出用圧電体21を形成し、第1振動梁16が矢示A方向に振動しているときに、ポスト14まわりの角速度ωが加わるとコリオリ力によって第2振動梁17が矢示B方向に振動し、捩れ振動検出用圧電体21でこの振動を検出して、角速度ωを検出する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に立設されたポストと、該ポストの先端側に位置して設けられ、該ポストから両側に向けて延びる一対の第1振動梁と該第1振動梁先端から該第1振動梁と直交する方向に向けて延びる一対の第2振動梁から形成されたH型振動体と、該H型振動体の第1振動梁と第2振動梁との接続点に位置してそれぞれ設けられた2個の重錘と、前記第1振動梁に振動を発生させるべく設けられた振動発生手段と、前記第2振動梁に発生する捩れ振動を検出すべく設けられた振動検出手段とを備え、前記振動発生手段で第1振動梁を振動させた状態で前記ポストの軸を回転中心とする角速度が加わったときに、第2振動梁に発生するコリオリ力による捩れ振動を振動検出手段で検出してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04