走査型露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282873
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124843
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】本発明は走査型露光装置において、露光性能と高スループツトを両立できるようにする。【構成】加速度計測手段(21)によつて測定された加速時におけるステージ保持台(4)の加速度とほぼ同じ大きさの加速度を相対移動中のマスクステージ(2A)及び又はステージ保持台(4)に与え、該ステージとステージ保持台(4)との間に生じた加速に起因した位置ずれを補正する。これによりマスク(2)と感光基板(3)との相対的な位置関係を保持したままの状態で速やかに走査露光を開始することができる。

請求項（抜粋）：

マスクを透過した光束を感光基板上に投影する投影光学系と、前記マスクを載置するマスクステージと前記感光基板を載置する基板ステージとを対面させた状態で一体的に保持するステージ保持台と、該ステージ保持台を前記投影光学系に対して相対移動させる駆動手段と、前記ステージ保持台上に設けられ、前記相対移動中における前記マスクと前記感光基板との相対位置ずれを補正する第1のステージ駆動手段とを備え、前記マスクと前記感光基板を所定の位置関係に維持した状態で前記マスクの全面を前記感光基板上に露光する走査型露光装置において、前記駆動手段によつて前記ステージ保持台に生じる加速度を計測する加速度計測手段と、前記加速度計測手段によつて測定された加速度とほぼ同じ大きさの加速度を前記相対移動中の前記マスクステージ及び又は基板ステージに与え、該ステージと前記ステージ保持台との間に発生した、加速に起因する位置ずれを補正する第2のステージ駆動手段とを具えることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 , H01L 21/30 515 G

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