特許

J-GLOBAL ID：200903093474721675

研磨材の回収装置

発明者： 松本 章 ,  埜村 誠
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003790
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198826
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】 粗大凝集物を効率的に除去することにより、不純物の少ない良好な回収スラリを得る。【解決手段】 研磨工程排水を遠心分離機3で濃縮し、濃縮スラリ中の粗大凝集物を超音波照射手段5で再分散させた後膜分離装置6,7で除去する研磨材の回収装置。

請求項（抜粋）：

研磨工程排水から研磨材を回収する装置において、該研磨工程排水に超音波を照射する超音波照射手段と、該超音波照射手段により超音波が照射された液を膜分離処理する膜分離手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。

IPC (7件)：

B24B 57/04 ,  C02F 9/00 ZAB ,  C02F 9/00 502 ,  C02F 9/00 ,  C02F 9/00 503 ,  C02F 9/00 504 ,  H01L 21/304 622

FI (9件)：

B24B 57/04 ,  C02F 9/00 ZAB ,  C02F 9/00 502 E ,  C02F 9/00 502 Q ,  C02F 9/00 502 Z ,  C02F 9/00 503 G ,  C02F 9/00 504 B ,  C02F 9/00 504 E ,  H01L 21/304 622 E

Fターム (3件)：

3C047FF08 ,  3C047GG14 ,  3C047GG17