特許
J-GLOBAL ID：200903093474785053
イオン分析装置の試料導入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142419
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325020
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 大気圧下でイオン化された試料を質量分析装置に導入するための試料導入装置の動作の安定性を向上させる。【構成】 スキマーコーンおよび或は後続のイオン収束レンズ系のレンズ電極に流入するイオン電流を検出し、そのイオン電流が一定値となるようスキマーコーン或はレンズ電極の印加電圧を制御する。【作用】 試料導入装置の安定性は検出器へのイオン導入量の安定性にかかわるが、それはスキマーコーンとかレンズ電極への試料の付着などによって害される。上記安定性は上記電流の変動に表れる場合があるので、その安定化を計ることにより試料分析精度が向上する。
請求項（抜粋）：
サンプリングコーンとスキマーコーンとイオン収束レンズ系を備えた試料導入装置において、イオン収束レンズ系のレンズ電極および或はスキマーコーンに流入する電流を検出する手段と、検出された電流が目標値となるように上記レンズ電極および或はスキマーコーン印加電圧を制御する手段とを設けたことを特徴とするイオン分析装置の試料導入装置。
IPC (3件)：
G01N 1/00 101
, G01N 27/62
, H01J 37/20
