特許
J-GLOBAL ID：200903093475541000
縦型プローブカード及びこれに用いるプローブ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051053
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218223
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【目的】 数多くのプローブを有していても、プローブの交換作業が容易になり、より短いプローブを使用することができるようにする。【構成】 先端の接触部が半導体集積回路の電極に接触すると座屈する座屈部120を有する複数本のプローブ110と、プローブ100が接続される配線パターン310が設けられた基板300とを備え、プローブ100は横断面が略円形で、座屈部120が接触部110を除く他の部分より細く形成されており、接触部110と座屈部120とは一直線状に形成されており、基板300にはプローブ100が貫通する貫通孔320が開設されている。プローブ100は接続パターン310に接続される後端の接続部130を有し、接続部130は、座屈部120及び接触部110から一直線状に延設される垂直部131と、垂直部131に対して略直交方向に折曲された水平部132とを有し、垂直部131が貫通孔320を貫通し、水平部132において配線パターン310に接続される。
請求項（抜粋）：
先端の接触部が半導体集積回路の電極に接触すると座屈する座屈部を有する複数本のプローブと、このプローブが接続される配線パターンが設けられた基板とを具備しており、前記プローブは横断面が略円形で、座屈部が接触部を除く他の部分より細く形成されており、接触部と座屈部とは一直線状に形成されており、前記基板にはプローブが貫通する貫通孔が開設されていることを特徴とする縦型プローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/28
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
