特許
J-GLOBAL ID：200903093478647348
電気特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-011507
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206488
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 MOSFET等の電気的特性を求めるのに必要な測定時間を短縮する。【解決手段】 被測定物であるMOSFETの各部に電圧を印加し、MOSFETに流れる電流を測定する電源測定部と、電源測定部の制御等を行う測定制御部と、測定過程においてVgs-Ids特性の曲線の接線の傾きの変化を検出する検出部とを備えた電気特性測定装置により以下のようにして測定を行う。MOSFETのゲートに印加する電圧を所定のステップ幅で掃引してドレイン電流Idsを順次測定する(S16、S20、S24)。この測定過程において、Vgs-Ids特性の曲線の接線の傾きの変化を検出し(ステップS26)、その傾きが減少し始める点で測定を中止する。この時点では、傾きが最大となる点までの測定データが得られているため、これらを用いてMOSFETのしきい値電圧や相互コンダクタンス等を算出する。
請求項（抜粋）：
予め設定された掃引範囲において所定のステップ幅で被測定物に対する印加電圧を順次変化させて被測定物に流れる電流を測定し、該測定結果に基づき被測定物への印加電圧と被測定物に流れる電流または該電流に相当する値との関係を示す特性曲線の接線の傾きが最大となる点を求め、該点における該特性曲線の接線に基づき被測定物の電気的特性値を求める電気特性測定装置であって、前記掃引範囲において前記印加電圧を順次変化させて被測定物に流れる電流を測定している過程において、測定された電流の値に基づき前記特性曲線の接線の傾きを順次算出して該傾きの変化を検出する検出手段と、前記傾きが増加する状態から減少する状態へと変化したことが検出手段によって検出されると、前記電流の測定を停止させる測定制御手段と、を備えることを特徴とする電気特性測定装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 29/78
G01R 31/26 B
, H01L 21/66 V
, H01L 29/78 301 T
