特許
J-GLOBAL ID：200903093482043368
ウエーハ静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-275162
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130827
出願日： 1993年11月04日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】静電吸着装置において、ウエーハの裏面の状態に係らずウエーハの有無をモニターできる吸着装置を提供すること。【構成】電源部に吸着力を発生させるための直流電圧電源部と、静電吸着装置の静電容量を測定するための交流電圧を発生するための交流電圧電源部を設け、この交流電圧が静電吸着部に印加された際に生ずる交流出力信号(交流電圧又は交流電流)を検出する検出部を設けた。【効果】ウエーハの裏面に絶縁膜が有る無しに係らず、吸着面上にウエーハが吸着,保持されたか否かを確実に、かつ簡便に検出することができる。
請求項（抜粋）：
電極板と、該電極板の表面に積層された誘電体膜とからなり、該電極板に電圧を印加して非吸着物を吸着する静電吸着装置において、直流電圧と交流電圧を重畳して印加できるように直流電源部と交流電源部からなる電源と、該電源から該静電吸着装置に交流電圧が印加されたときに流れる交流電流または交流電圧の変化を検出する検出器を設けたことを特徴とするウエーハ静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01R 31/26
, B23Q 3/15
