電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023978
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235276
出願日： 1994年02月22日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】観察しながらフィルム撮影の露光条件を、試料破損等の問題が生じないような露光条件で自動制御出来るようにすること、また、全体像の中で関心の有る部分において優先的に適正露光条件での写真撮影を行う際に、その他の部分においてもハレ-ション等の問題を起こさずに撮影出来るようにすることを目的とする。【構成】撮像管8で顕微鏡像を取り込み、画像処理装置14を介してCPU12に取り込み、表示用モニター15上の顕微鏡像を見ながら、データ入出力装置13によりフィルム撮影のための各種設定を行い、そのデータを基にCPU12内で露光条件の演算、フィルム撮影のための制御を自動で行い、この結果で撮影の最終像として得られる予想画を表示用モニター15上に表示出来る。

請求項（抜粋）：

電子銃と照射系,結像系の各種レンズ、および観察,記録系から構成される電子顕微鏡において、フィルム撮影等で得られる最終像を撮影前,撮影中に確認,評価し撮影できる機能と、従来の撮影ばかりでなく、観察者の撮影で意図する条件(例えば、関心の有る部分においての適正露光を得る)を盛り込んだ場合にも、その条件での適正な撮影が行われるよう露光条件等を自動制御する機能を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

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