角速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-056901
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254428
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】容易且つ安価に構成し、作用する角速度が高精度で検出でき、例えば自動車等に搭載して車体制御用やナヴィゲーションシステムなどに効果的に利用できるようにした角速度センサを提供することを目的とする。【構成】この角速度センサでは、半導体基板3上には、可動電極としての振動子10,11が上記半導体基板1から所定の距離を隔てて形成される。上記半導体基板3上の所定位置には、固定電極部7a,7b,8,9がアルミニウムにより形成され、当該電極間にはトレンチ部4a乃至4cが形成される。そして、振動子10,11と半導体基板1間にそれぞれコンデンサを形成する。この振動子10と半導体基板1、振動子11と半導体基板1の間のギャップの変化による容量変化に基づいて角速度を検出する。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、この半導体基板の上方に位置して該半導体基板面から所定の間隔を隔てて配置され、変位自在に構成された可動電極と、上記半導体基板の上方に位置して上記可動電極に電圧を供給する固定電極と、を具備し、上記半導体基板と上記可動電極とによりコンデンサを形成し、上記固定電極により所定の周期をもって上記振動子を励振する際に伴う当該コンデンサの容量の変化により角速度を検出することを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

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