特許
J-GLOBAL ID:200903093500416720
機能性素子の製造方法およびその製造装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山下 昭彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-069671
公開番号(公開出願番号):特開2003-266003
出願日: 2002年03月14日
公開日(公表日): 2003年09月24日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、形成された機能層の中心部および端部の厚みの差が、色調ムラ等の不都合を発生させない程度の差の範囲内にある機能層を有する機能性素子の製造方法およびそのような機能性素子の製造に用いる装置を提供することを主目的とするものである。【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、溶媒を含む機能層形成用塗工液を基材上に塗布した後、乾燥させて固化させる乾燥工程を有する機能性素子の製造方法において、製造される機能層の平坦性を得るために、予め製造された機能層の形状を検査し、中心部が凸形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を速くし、中心部が凹形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を遅くするように制御することを特徴とする機能性素子の製造方法を提供する。
請求項(抜粋):
溶媒を含む機能層形成用塗工液を基材上に塗布した後、乾燥させて固化させる乾燥工程を有する機能性素子の製造方法において、製造される機能層の平坦性を得るために、予め製造された機能層の形状を検査し、中心部が凸形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を速くし、中心部が凹形状の場合は、前記乾燥工程における溶媒の揮発速度を遅くするように制御することを特徴とする機能性素子の製造方法。
IPC (6件):
B05C 9/14
, F26B 25/00
, G02B 5/20 101
, H05B 33/10
, H05B 33/12
, H05B 33/14
FI (6件):
B05C 9/14
, F26B 25/00 A
, G02B 5/20 101
, H05B 33/10
, H05B 33/12 E
, H05B 33/14 A
Fターム (31件):
2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB28
, 2H048BB42
, 3K007AB04
, 3K007AB18
, 3K007BB06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3L113AA01
, 3L113AB01
, 3L113AC08
, 3L113AC10
, 3L113AC69
, 3L113BA34
, 3L113CA01
, 3L113CB05
, 3L113CB06
, 3L113CB23
, 3L113DA24
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA18
, 4F042BA25
, 4F042CB10
, 4F042DB01
, 4F042DB19
, 4F042DB26
, 4F042DD34
引用特許:
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