特許

J-GLOBAL ID：200903093506600808

回折格子製作用成形型およびその製造方法

発明者： 鈴木 博幸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258510
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】 底面および段差の深さの精度や均一性にすぐれた安価な回折格子製作用成形型を実現する。【構成】 基板1の表面に、第1ないし第3の2層膜2a〜2cを成膜する。各2層膜2a〜2cは、2種類のエッチングガスの一方のエッチングガスに対して高い反応性を有し他方に対して低い反応性をもつ薄膜3と、前記一方のエッチングガスに対して低い反応性をもち前記他方のエッチングガスに対して高い反応性をもつ薄膜4からなる。前記2種類のエッチングガスを交互に用いて第3の2層膜2cから順次所定の部分をエッチングすることで回折格子転写用の溝5を形成する。このため、エッチング深さを高精度で制御する必要はない。

請求項（抜粋）：

基板とその表面に積層された複数の2層膜を有し、各2層膜が、2種類のエッチングガスの一方のエッチングガスに対して高い反応性を有し他方のエッチングガスに対して低い反応性を有する第1の薄膜と、前記一方のエッチングガスに対して低い反応性を有し前記他方のエッチンクガスに対して高い反応性を有する第2の薄膜からなり、前記2層膜のそれぞれの所定の部分を前記2種類のエッチングガスによってエッチングすることで回折格子転写用の凹所が形成されていることを特徴とする回折格子製作用成形型。

IPC (2件)：

G02B 5/18 ,  C23F 4/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-132602
  
• 特開昭61-137101
  
• 特開平3-132602
  
• 特開昭61-137101