特許

J-GLOBAL ID：200903093507900970

パターン形成方法、パターン形成装置、バンプ電極形成方法、配線パターン形成方法、液晶表示装置用スペーサ形成方法、タッチパネル用スペーサ形成方法、及び、プラズマディスプレイパネル用障壁形成方法

発明者： 木下 真言
出願人/特許権者： リコーマイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222317
公開番号（公開出願番号）：特開2001-047728
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 基板などの被形成体上にバンプ電極、配線パターン、液晶表示装置用のスペーサ、タッチパネル用のスペーサ、プラズマディスプレイパネル用の障壁等のパターンを安価に形成することができるパターン形成方法を提供する。【解決手段】 スキージ72の押圧力によりマスク版としてのマスクベルト51とガラス板56とを密着させる密着工程と、スキージ72によってマスクベルト51の孔53に成形用材料としての紫外線硬化ペースト55を充填して孔53の内部形状と同様の形状に成形する成形工程とを実施する。次いで、成形した紫外線硬化ペースト55に紫外線ランプ63からの紫外線を照射してこの紫外線硬化ペースト55を硬化させる硬化工程を実施する。更に、分離装置64によりマスクベルト51とガラス板56と分離し、孔53内の硬化済み紫外線硬化ペースト55をガラス板56上に転写する転写工程とを施して、このガラス板56上にパターンとしての液晶パネル用スペーサを形成するようにした。

請求項（抜粋）：

パターン用の複数の貫通開口部を有するマスク版と被形成体とを密着させる密着工程と、両者を密着させた状態で成形用材料を該貫通開口部に充填して該貫通開口部の形状に成形する成形工程と、該貫通開口部に充填した該成形用材料を硬化させる硬化工程と、該マスク版と該被形成体との密着状態を解放して該貫通開口部内の硬化済みの成形用材料を該被形成体上に転写する転写工程とを実施して、該被形成体上に硬化済みの成形用材料からなるパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。

IPC (9件)：

B41M 1/12 ,  B41F 15/08 303 ,  G02F 1/1339 500 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/30 337 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H05K 3/12 610

FI (9件)：

B41M 1/12 ,  B41F 15/08 303 E ,  G02F 1/1339 500 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 320 ,  G09F 9/30 337 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H05K 3/12 610 D

Fターム (80件)：

2C035AA06 ,  2C035FD09 ,  2C035FD29 ,  2C035FD52 ,  2C035FE04 ,  2C035FF22 ,  2H089MA07X ,  2H089NA07 ,  2H089NA13 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H113AA01 ,  2H113AA02 ,  2H113AA03 ,  2H113AA04 ,  2H113AA05 ,  2H113BA10 ,  2H113BB09 ,  2H113BB22 ,  2H113BC00 ,  2H113CA15 ,  2H113CA17 ,  2H113CA42 ,  2H113FA10 ,  2H113FA34 ,  2H113FA36 ,  2H113FA43 ,  5C027AA01 ,  5C027AA09 ,  5C040GC19 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA09 ,  5C040JA12 ,  5C040JA15 ,  5C040JA20 ,  5C040JA21 ,  5C040JA28 ,  5C040JA32 ,  5C040KA16 ,  5C040MA26 ,  5C094AA31 ,  5C094AA33 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094DA13 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094EC03 ,  5C094EC04 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5E343AA26 ,  5E343BB25 ,  5E343BB34 ,  5E343BB54 ,  5E343BB58 ,  5E343BB60 ,  5E343BB72 ,  5E343BB77 ,  5E343DD02 ,  5E343FF12 ,  5E343GG02 ,  5G435AA00 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435EE41 ,  5G435FF01 ,  5G435HH12 ,  5G435HH14 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10