特許
J-GLOBAL ID：200903093509552901
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072235
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234852
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】【目的】 マスクとウエハの相対的位置検出を高精度に行うことのできる位置検出装置を得ること。【構成】 光源手段からの光束をマスクとウエハとを介して受光面上への光束の入射位置における光強度に応じた信号を出力する光検出手段で検出し、該光検出手段からの信号を位置検出手段により該光検出手段からの受光面上の各領域に対応する信号を領域によって異なる重み係数を用いて調整した後、該調整後の出力に基づいて、再度調整すべき該受光面上の各領域を設定し直して同様の調整を行うことにより、マスクとウエハとの相対位置関係を検出するようにしたこと。
請求項（抜粋）：
第1物体と第2物体との相対位置関係を検出する際、光源手段からの光束を該第1物体と第2物体を介して少なくとも1つの受光面を有し、該受光面上への光束の入射位置における光強度に応じた信号を出力する光検出手段で検出し、該光検出手段からの信号を位置検出手段により該光検出手段からの受光面上の各領域に対応する信号を領域によって異なる重み係数を用いて調整した後、該調整後の出力に基づいて、再度調整すべき該受光面上の領域を設定し直して同様の調整を行うことにより、該第1物体と第2物体との相対位置関係を検出するようにしたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
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