特許
J-GLOBAL ID：200903093510883814
温度測定装置とこれを用いた温度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-170230
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335284
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造で測定精度の高い温度測定装置とその測定方法を提供すること。【構成】 シリコン板2の所定位置に温度測定部3を設けた温度測定装置1で、温度測定部3として、シリコン板2の上面に所定容量の窪み4を穿設し、この窪み4上に薄膜5を被着することで窪み4内の空間を密封状態とし、この空間内に気体を所定圧力で封入する。このシリコン板2を加熱して、窪み4内の気体を膨張させることで、この窪み4上に被着した薄膜5を膨出させ、この薄膜5の膨らんだ高さを計測することでシリコン板2の温度を測定する。
請求項（抜粋）：
シリコン板の所定位置に温度測定部が設けられた温度測定装置であって、前記温度測定部は、前記所定位置に穿設された所定容量の窪みと、前記窪み内の空間を密封状態で覆う薄膜とから成り、前記空間内に所定圧力の気体が封入されていることを特徴とする温度測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, G01K 5/32
, H01L 21/66
