溶解性試薬を使用して二次加工された微小多孔質材料

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-617459
公開番号（公開出願番号）：特表2002-544331
出願日： 2000年05月05日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】微小多孔質低誘電率材料を第一試薬と第二試薬から製造する。試薬は、混合して試薬混合物とし、高分子構造が混合試薬から形成される。ナノサイズの孔は、熱分解や蒸発以外の方法により、少なくとも一部の第二試薬を高分子構造から除去することによって形成される。

請求項（抜粋）：

以下の工程、すなわち:第一試薬と第二試薬を供給する工程;前記第一試薬と第二試薬を混合して試薬混合物を形成する工程;前記試薬混合物から高分子構造を形成する工程;および熱分解以外、および蒸発以外の方法によって前記高分子構造から少なくとも一部の第二試薬を除去する工程であって、前記第二試薬はフラーレンを含まない工程を含む低誘電性微小多孔質材料を製造する方法。

IPC (4件)：

C08J 9/26 CEZ , H01L 21/312 , C08L 71:08 , C08L 79:08

FI (5件)：

C08J 9/26 CEZ , H01L 21/312 A , H01L 21/312 B , C08L 71:08 , C08L 79:08 Z

Fターム (26件)：

4F074AA32 , 4F074AA35 , 4F074AA74 , 4F074AA76 , 4F074AA90 , 4F074AC11 , 4F074AC32 , 4F074AD01 , 4F074AD02 , 4F074AD07 , 4F074AD11 , 4F074AE01 , 4F074AE06 , 4F074CB03 , 4F074CB13 , 4F074CB17 , 4F074CB22 , 4F074CB28 , 4F074DA24 , 4F074DA47 , 4F074DA59 , 5F058AC02 , 5F058AD02 , 5F058AG01 , 5F058AG03 , 5F058AG04

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