特許
J-GLOBAL ID：200903093513683042
表面分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩野入 章夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-291733
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146223
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の切削,研磨をおこなうために試料を移動する必要がなく、3次元成分分析の測定とそのための切削を同一の場所において行うことができる表面分析方法を提供する。【構成】 分析試料1の3次元成分分布を測定する表面分析方法において、X,Y,Z軸の3軸駆動を有する試料マニュピレータ2において、X軸及びY軸の駆動による試料ステージ21の2次元方向の駆動とともに行う、分析試料表面の2次元成分分布測定と分析試料の表面の切削とを同時に行う工程と、前記工程後にZ軸を所定の距離だけ駆動する工程とを繰り返すことにより、分析試料の3次元成分分布を測定する。
請求項（抜粋）：
分析試料の3次元成分分布を測定する表面分析方法において、X,Y,Z軸の3軸駆動を有する試料マニュピレータにおいて、X軸及びY軸の駆動による試料ステージの2次元方向の駆動とともに行う、分析試料表面の2次元成分分布測定と分析試料の表面の切削とを同時に行う工程と、前記工程後にZ軸を所定の距離だけ駆動する工程とを繰り返すことにより、分析試料の3次元成分分布を測定することを特徴とする表面分析方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, G01N 1/32
, G01N 23/227
