特許
J-GLOBAL ID：200903093514122907
半導体マイクロバルブ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147119
公開番号（公開出願番号）：特開2000-220766
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】 小型でノーマリオープン型のバルブが容易に形成でき、かつ、広範囲の流量制御が可能な半導体マイクロバルブ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 貫通孔1aと貫通孔1aの開口近傍に設けられた弁座となる突起部1cとを有する半導体基板1と、半導体基板1の突起部1cが形成された面に所定のギャップ幅を介して対向配置された平板形状の可撓部2とを有し、可撓部2を変位させて前記ギャップ幅を調節することにより流体の流量制御を行う。
請求項（抜粋）：
貫通孔と該貫通孔の開口近傍に設けられた弁座となる突起部とを有する半導体基板と、該半導体基板の前記突起部が形成された面に所定のギャップ幅を介して対向配置された平板形状の可撓部とを有し、該可撓部を変位させて前記ギャップ幅を調節することにより流体の流量制御を行うことを特徴とする半導体マイクロバルブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 31/70 B
, F16K 7/14 Z
3H057AA02
, 3H057BB32
, 3H057BB38
, 3H057CC07
, 3H057DD12
, 3H057DD13
, 3H057EE10
, 3H057FA01
, 3H057FC02
, 3H057HH07
, 3H057HH11
