階調マスク及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195962
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049410
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】正確に、効率的に、かつ、安価に製造することができる透過率が段階的に変化する階調マスク。【構成】透過率が実質的に0%と100%を含む3段階以上に空間的に段階的に変化する階調マスクであって、透明基板11上にクロム化合物12を透過率が0%になる膜厚で均一に成膜する工程と、所定部分領域cのクロム化合物膜12をエッチングにより除去する工程と、残ったクロム化合物膜の所定部分領域bの膜厚を中間の所定透過率になる膜厚にエッチングする工程とを含む製造方法により作製する。

請求項（抜粋）：

透過率が実質的に0%と100%を含む3段階以上に空間的に段階的に変化する階調マスクにおいて、透過率の段階的な調整が透明基板上に設けた均一なクロム化合物の膜厚変化によって行われていることを特徴とする階調マスク。

引用特許：

審査官引用 (3件)

カラーフイルターの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-298937 出願人：日本石油株式会社
特開昭60-004943
特開平2-012203

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