特許

J-GLOBAL ID：200903093520643048

縦型基板ステージ装置

発明者： 是永 伸茂 ,  斉藤 正道
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281909
公開番号（公開出願番号）：特開平7-115056
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 重力を相殺する定張力バネの張力むらを補償する。【構成】 Xステージ2はベース1と一体であるXガイド2aに沿ってX方向に移動し、Yステージ3はXステージ2と一体であるYガイド3aに沿ってリニアモータ5によってY方向に移動される。Yステージ3の重力は定張力バネ6によって相殺される。定張力バネ6の張力むらは予め測定されて張力むら補償テーブル6eに記憶され、制御装置6dによって補助モータ6bを制御することで解消される。

請求項（抜粋）：

案内手段に沿って所定の方向に往復移動自在である移動台と、これを移動させる駆動手段と、前記移動台の重力を張力によって相殺する定張力バネと、前記張力の変化を補償する張力補償手段を有することを特徴とする縦型基板ステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/58 ,  B23Q 5/22 520 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 531 A ,  B23Q 1/14 B