微小探針の作製方法、及び微小探針

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321291
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】試料形状に限定されずに高い分解能で観察することが可能な、単一の先鋭化された頂点を持つ、走査型プローブ顕微鏡やその原理を応用した極微細加工や高密度記録に用いられる微小探針の作製方法、及び微小探針を提供すること。【解決手段】微小探針の作製方法であって、基板上に凹部を有するメッキ構造体を形成し、該メッキ構造体の凹部を金型として該金型上に探針材料を形成し、該探針材料を該金型から剥離し、または別の基板へ接合転写して微小探針を形成する微小探針の作製方法、およびこの方法により頂点を共有する凹面により囲まれた外形を有する微小探針を提供する。

請求項（抜粋）：

微小探針の作製方法であって、基板上に凹部を有するメッキ構造体を形成し、該メッキ構造体の凹部を金型として該金型上に探針材料を形成し、該探針材料を該金型から剥離し、または別の基板へ接合転写して微小探針を形成することを特徴とする微小探針の作製方法。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G02B 21/00 , G11B 9/00

FI (5件)：

G01N 37/00 C , G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , G02B 21/00 , G11B 9/00

Fターム (10件)：

2F069AA60 , 2F069AA66 , 2F069DD26 , 2F069GG01 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069JJ00 , 2F069LL03 , 2H052AA07 , 2H052AF10

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