特許
J-GLOBAL ID：200903093533965435
干渉露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244290
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067008
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 露光可能な回折格子の周期を短くし、小型化可能で、大気の乱れによる光の位相の揺らぎにも無縁で、光ビームの強度分布が均一でない場合にも干渉縞の良好なコントラストを確保できるように改善する。【構成】 プリズム10に入射したTMモードの光ビームを半透明鏡膜21で反射光と透過光に分け、その反射光を全反射膜12で反射させ、プリズム10と40とを通して試料60に照射させる。他方、透過光は1/2波長板51を通ることによりTEモードとなるので偏光ビームスプリッタ31を透過する。その後、1/4波長板52を通り、全反射膜53で反射し再び1/4波長板52を通ることによりTMモードとなるので、偏光ビームスプリッタ31で全反射し、試料60へと向かう。
請求項（抜粋）：
光ビームの光入射面と試料が密着させられる光出射面とを備えるガラス体と、該ガラス体中に配置された半透明鏡膜と、該半透明鏡膜で反射した光ビームの上記出射面までの光路中に配置された、実質的に全反射鏡として機能する1つの反射膜と、上記半透明鏡膜を透過した光ビームの上記出射面までの光路中に配置された、実質的に全反射鏡として機能する2つの反射膜とを有することを特徴とする干渉露光装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
