固体撮像素子とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192129
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037287
出願日： 1994年07月23日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】固体撮像素子のアルミニウムからなる遮光膜7をピンホールが生じるおそれのないような厚さにしつつ固体撮像素子の感度が低下しないようにする。【構成】遮光膜7の受光素子1・1間上における厚さaが1000nm以上で、厚さaに対する開口5内側面を覆う部分における厚さbの比であるアスペク比b/aが0.4以上、例えば0.5である。かかるアルミニウムからなる遮光膜7はスパッタ温度が200〜350°C、例えば300°でのスパッタリングにより形成する。

請求項（抜粋）：

画素を成す受光素子を縦横に配設し、各受光素子毎に光を取り入れる開口を有し、各受光素子間上にアルミニウムからなる遮光膜を開口内側面を覆うように形成した固体撮像素子において、上記遮光膜の上記受光素子間上における厚さaが1000nm以上で、上記遮光膜の厚さaに対する上記開口内側面を覆う部分における厚さbの比であるアスペクト比b/aが0.4以上であることを特徴とする固体撮像素子

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