特許

J-GLOBAL ID：200903093535282270

耐熱性シリカ質発泡体及びその製造方法

発明者： 中村 達政 ,  藤ノ木 朗 ,  横田 透
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-290602
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144934
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 シリカ粉 100重量部とセラミックス粉を5〜100 重量部含有するシリカ質混合粉末を、アンモニア雰囲気中で 700〜1200°Cの温度条件下にアンモニアと反応させ、これを所定の成形型に入れて1400〜1800°Cの温度に加熱して粉末を溶融,発泡させる耐熱性シリカ質発泡体の製造方法、及びそのようにして得られた窒素原子0.02〜0.5 重量%を含有する耐熱性シリカ質発泡体。【効果】 本発明の発泡体は、純シリカ発泡体に比べて耐熱性に優れ、半導体熱処理工業に極めて有利に使用することができ、操作性の一層改善された汚染のおそれのない安全な炉用耐火断熱材として有用である。

請求項（抜粋）：

シリカに、該シリカ 100重量部当りセラミックスを5〜100 重量部の範囲割合で含有するシリカ質発泡体であって、該発泡体が、それらのシリカ質構成成分に化学的に結合した窒素原子0.02〜0.5 重量%を含有する耐熱性シリカ質発泡体。

IPC (3件)：

C03C 11/00 ,  C03B 19/08 ,  C03C 14/00