特許

J-GLOBAL ID：200903093535882146

膜厚制御装置

発明者： 宮谷 保太朗
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045695
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198853
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 回転ローラと膜厚制御ブレードのギャップを精密にコントロールすることができる膜厚制御装置を提供する。【構成】 膜厚制御ブレード2を支持体3の摺動孔3aに挿抜自在に挿入し、その変位方向を回転ローラ1の外周面に略垂直にして配置する。アクチュエータ6の出力軸6aが膜厚制御ブレード2の変位方向と異なる方向に変位するようにして膜厚制御ブレード2の後端面にアクチュエータ6の出力軸6aの先端を接触させる。

請求項（抜粋）：

回転ローラの外周面に膜厚制御ブレードを対向させて配置し、当該回転ローラの外周面と膜厚制御ブレードのギャップを調整することにより回転ローラの外周面に供給される流体の膜厚を制御する膜厚制御装置において、前記膜厚制御ブレードがその変位方向を回転ローラの外周面に略垂直にして配置され、当該膜厚制御ブレードがその変位方向と異なる方向に変位するアクチュエータの出力部によって変位させられることを特徴とする膜厚制御装置。