特許

J-GLOBAL ID：200903093538044397

複屈折測定装置、除歪装置、偏光状態検出装置及び露光装置

発明者： 岸川 康宏 ,  竹内 誠二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191706
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037137
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】被検測定物の紫外域における複屈折特性を簡便、高速、且つ高精度に測定する複屈折測定装置と、光学部材の熱処理工程において、熱処理時間を短縮化し、且つ複屈折量を制御することが可能な熱処理方法及び除歪装置と、上記複屈折測定装置により構成される偏光状態検出装置を搭載した露光装置を提供する。【解決手段】光源と、特定の偏光方向の光束を抽出する偏光素子102と、被検測定物と、被検測定物を保持する試料ステージと、試料ステージを制御する制御手段と、被検測定物を射出した光束と同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する光束分割手段と、光束分割手段により分割した光束の特定の偏光方向の光束を抽出する2つの偏光素子と、偏光素子を透過した光束の光量を検出する2つの光量検出手段と、光量検出手段の受光光量を演算する演算手段とを有し、被検測定物から射出される光束の偏光状態の情報を求めることを特徴とする複屈折測定装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源と、 該光源からの光束の特定の偏光方向の光束を抽出する偏光素子1と、 少なくとも1つの被検測定物と、 該被検測定物を保持する試料ステージと、 該試料ステージを制御する制御手段と、 該被検測定物を射出した光束と同じ偏光状態を有する2つの光束に分割する少なくとも1つの光束分割手段と、 該光束分割手段により分割した光束の特定の偏光方向の光束を抽出する少なくとも2つの偏光素子2と、 該偏光素子を透過した光束の光量を検出する少なくとも2つの光量検出手段と、 該光量検出手段の受光光量を演算する演算手段とを有し、 該被検測定物から射出される光束の偏光状態の情報を求めることを特徴とする複屈折測定装置。

IPC (6件)：

G01N21/23 ,  G01J4/04 ,  G01M11/00 ,  G01N21/01 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (7件)：

G01N21/23 ,  G01J4/04 Z ,  G01M11/00 T ,  G01N21/01 B ,  G03F7/20 502 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (23件)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059DD13 ,  2G059DD16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059FF06 ,  2G059GG01 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G086EE12 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046DA01 ,  5F046DB05 ,  5F046DC01