特許
J-GLOBAL ID：200903093543477633
固体撮像装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273482
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092810
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【目的】 白傷欠陥による固定パターンノイズを抑制するとともに、信号出力の低下を防止し、S/Nの向上を図る。【構成】 MISゲート構造におけるゲート電極43のエッジ部分の厚みが徐々に薄くなるように、前記エッジ部分の、前記MISゲート構造におけるゲート絶縁膜42側に、テーパ面43aが形成される。ソース/ドレイン領域44がゲート電極43に対してセルフアラインで形成される。ソース/ドレイン領域44が、比較的高濃度の不純物領域44aと比較的低濃度の不純物領域44bを有し、LDD構造を持つ。
請求項（抜粋）：
MISゲート構造を有する素子を含む固体撮像装置において、前記MISゲート構造におけるゲート電極のエッジ部分の厚みが徐々に薄くなるように、前記エッジ部分の、前記MISゲート構造におけるゲート絶縁膜側に、テーパ面が形成されたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 A
, H04N 5/335 U
