特許
J-GLOBAL ID：200903093554708645
CCDカメラによる分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346004
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149184
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 結晶方位解析、分光分析を1つの測定系で行えるようにする。【解決手段】 電子線を照射した試料からの特性X線を回折する不等間隔回折格子(8)と、不等間隔回折格子で回折された回折線が入射する位置に受光面を有すると共に、該受光面で試料からの反射電子線を検出するCCDカメラ(7)とを備え、CCDカメラにより記録した反射電子線の回折パターンから結晶方位解析を行うと共に、不等間隔回折格子からの回折線を受光して元素分析を行うようにしたものである。
請求項（抜粋）：
電子線を照射した試料からの特性X線を回折する不等間隔回折格子と、不等間隔回折格子で回折された回折線が入射する位置に受光面を有するとともに、該受光面で試料からの反射電子線を検出するCCDカメラと、を備え、前記CCDカメラにより記録した反射電子線の回折パターンから結晶方位解析を行うと共に、不等間隔回折格子からの回折線を受光して元素分析を行うことを特徴とするCCDカメラによる分析装置。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, G01N 23/20
, G01N 23/207
G01N 23/225
, G01N 23/20
, G01N 23/207
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA15
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001DA01
, 2G001DA09
, 2G001FA09
, 2G001GA01
, 2G001GA13
, 2G001JA04
, 2G001JA06
, 2G001KA01
, 2G001KA08
, 2G001SA01
, 2G001SA04
