特許

J-GLOBAL ID：200903093560717206

垂直磁化膜及びその製造法

発明者： 田万里 耕作
出願人/特許権者： 戸田工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105460
公開番号（公開出願番号）：特開平5-282617
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 酸化に対して安定であって、垂直磁気異方性が優れており、しかも、結晶性が改善された垂直磁化膜及び当該垂直磁化膜を工業的に得られる製造法を提供する。【構成】 Feを主成分とするスピネル型酸化物層AとCoを主成分とするスピネル型酸化物層Bとが、交互にA、B或いはB、Aの順に2回以上繰り返し積層されている垂直磁化膜、必要によりFeを主成分とするスピネル型酸化物層A、Coを主成分とするスピネル型酸化物層B及びAとBの中間にあるFeとCoの混合物を主成分とするスピネル型酸化物層Cが、A、C、BあるいはB、C、Aの順で2回以上繰り返し積層されている垂直磁化膜であり、当該垂直磁化膜は、Feを主成分とするスピネル型酸化物層AとCoを主成分とするスピネル型酸化物層Bとが、交互にA、B或いはB、Aの順に2回以上繰り返し積層された膜を形成した後、当該積層膜を250〜400°Cの温度範囲で熱処理することにより得られる。

請求項（抜粋）：

Feを主成分とするスピネル型酸化物層AとCoを主成分とするスピネル型酸化物層Bとが、交互にA、B或いはB、Aの順に2回以上繰り返し積層されていることを特徴とする垂直磁化膜。

IPC (4件)：

G11B 5/127 ,  G11B 5/85 ,  G11B 11/10 ,  H01F 10/18