特許

J-GLOBAL ID：200903093561391436

平面研磨装置

発明者： 宮内 幹由 ,  長倉 靖彦
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122276
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315121
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】 平面研磨装置において、研磨布及びバッキングパッドを、それぞれ、ターンテーブル及び保持プレートに取り付ける際に、空気の巻き込みを防止し、これによって、研磨加工後の被研磨材の平坦度を向上させる。【解決手段】 本発明の平面研磨装置は、ターンテーブル1、研磨ヘッド4、研磨剤供給ノズル9、ドレッシングヘッド11などから構成される。ターンテーブル1は、上面に研磨布3が接着される。研磨ヘッド4は、回転兼加圧機構5、シャフト6、保持プレート7などから構成される。保持プレート7の下面には、バッキングパッド8が接着され、ウエハ10はバッキングパッド8に吸着されて研磨ヘッド4にセットされる。更に、本発明の平面研磨装置では、ターンテーブル1の表面の全面に渡って格子状の溝21が形成され、同様に、保持プレート7の表面にも、その全面に渡って格子状の溝31が形成されている。

請求項（抜粋）：

上面に研磨布が接着されるターンテーブルと、ターンテーブルに対向してターンテーブルの上方に配置され、下面に接着されたバッキングパッドで平板状の被研磨材を吸着して保持する研磨ヘッドとを備え、研磨布の上に研磨剤を供給しながら、研磨ヘッドで被研磨材を回転するとともに研磨布に押し付けて研磨を行う平面研磨装置において、前記ターンテーブルの表面に、気泡を排除するための溝を形成したことを特徴とする平面研磨装置。