特許
J-GLOBAL ID:200903093561696350

差圧流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-271604
公開番号(公開出願番号):特開平5-107090
出願日: 1991年10月21日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】【目的】異なる特性の圧力センサを組み合せることにより、検出感度の向上とダイナミックレンジの拡大とを両立することを目的とする。【構成】流体の流路(20)途中に挿入されたしぼり(21)と、該しぼりの前後に配置されたピエゾ抵抗効果を利用する一対の第1の圧力センサ(22A、22B)と、同じくしぼりの前後に配置された圧電効果を利用する一対の第2の圧力センサ(23A、23B)と、を備え、前記第1の圧力センサによって検出されたしぼり前後の圧力情報、および、前記第2の圧力センサによって検出されたしぼり前後の圧力情報に基づいて、前記しぼり前後の差圧情報を演算し、該差圧情報から前記流体の流量を演算することを特徴とする。
請求項(抜粋):
流体の流路(20)途中に挿入されたしぼり(21)と、該しぼりの前後に配置されたピエゾ抵抗効果を利用する一対の第1の圧力センサ(22A、22B)と、同じくしぼりの前後に配置された圧電効果を利用する一対の第2の圧力センサ(23A、23B)と、を備え、前記第1の圧力センサによって検出されたしぼり前後の圧力情報、および、前記第2の圧力センサによって検出されたしぼり前後の圧力情報に基づいて、前記しぼり前後の差圧情報を演算し、該差圧情報から前記流体の流量を演算することを特徴とする差圧流量計。
IPC (3件):
G01F 1/42 ,  G01F 1/50 ,  G01L 13/00

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