特許
J-GLOBAL ID：200903093564511505
X線光電子分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060435
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270348
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】物質の組成或いは化学結合状態の過渡変化を、市販のX線管を用いた簡便なX線光電子分光装置により、高い時間分解能で追跡可能にする。【構成】軟X線発生装置13を用いた光電子分光装置を基本とし、光電子源である試料1とエネルギー分析器11との中間に偏向板9を設ける。外乱としてのパルス電圧やパルス光の試料1への印加に同期させて、偏向板9と絞り8とによる光電子検出ゲートの開閉を行い、外乱パルス12より所定の遅延時間τを経過した後、微小時間△τの間光電子10をエネルギー分析器11に取込み、エネルギー分光する。遅延時間τを掃引することにより、試料1表面の状態の過渡変化を高い時間分解能で追跡できる。エネルギー分析器11の検出器14に、エネルギー分散された光電子の到達位置検出が可能な二次電子増倍管を用いれば、測定時間をより短縮できる。
請求項（抜粋）：
試料に励起X線を照射し放出された光電子の運動エネルギー分布を測定するX線光電子分光装置において、前記試料に前記励起X線を連続して照射する手段と、前記試料に電場、磁場或いは光などのような外乱を周期的パルスとして与える手段と、前記放出光電子を取込んでエネルギー分光するエネルギー分光手段と、前記エネルギー分光手段への前記放出光電子の取込みを前記外乱の印加に同期させる手段及び、エネルギー分光された後の光電子による電流パルスの検出を前記外乱の印加に同期させる手段のいずれか一方と、を備えることを特徴とするX線光電子分光装置。
引用特許：
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