特許

J-GLOBAL ID：200903093567494075

光学記録媒体原盤の露光装置、光学記録媒体原盤の露光方法、光学ピックアップ、並びに光記録方法

発明者： 有馬 光雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-134815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319382
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 ピットやグルーブ等の凹凸パターンを高精度に形成することができる光学記録媒体原盤の露光装置及び露光方法を提供し、また高い記録密度で光ディスクに記録を行うことができる光学ピックアップ、並びに光記録方法を提供する。【解決手段】 レーザ光を出射する半導体レーザもしくはガスレーザと光ファイバー8を備えた対物部7とを有し、光ファイバー8の射出端面7Aにレーザ光の波長λより小さい開口が形成された光学記録媒体原盤10の露光装置を構成する。また、基体上のフォトレジストと射出端面7Aとの距離WDをレーザ光の波長λより短くした状態で、光ファイバー8を介してフォトレジストにレーザ光を照射して光学記録媒体原盤10の露光を行う。同様に半導体レーザと光ファイバーを備えた対物部を有し、光ファイバーの射出端面に、レーザ光の波長λより小さい開口が形成された光学ピックアップを構成する。また、光学記録媒体の記録層と光ファイバーの射出端面との距離をレーザ光の波長λより短くした状態で、光ファイバーを介して記録層にレーザ光を照射して情報の記録を行う。

請求項（抜粋）：

基体上にフォトレジストが塗布されて成る光学記録媒体原盤に対して露光を行う露光装置であって、露光用レーザ光を出射する半導体レーザもしくはガスレーザと、光ファイバーを備えた対物部とを有して成り、上記対物部の上記光ファイバーの射出端面に開口が形成され、該開口の大きさが上記露光用レーザ光の波長より小さいことを特徴とする光学記録媒体原盤の露光装置。

IPC (5件)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 505 ,  G11B 7/0045 ,  G11B 7/135

FI (5件)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 505 ,  G11B 7/0045 A ,  G11B 7/135 Z

Fターム (19件)：

2H097AB07 ,  2H097CA17 ,  2H097FA02 ,  2H097LA20 ,  5D090BB01 ,  5D090BB16 ,  5D090CC01 ,  5D090FF11 ,  5D090KK01 ,  5D119AA22 ,  5D119BB09 ,  5D119DA01 ,  5D119EB02 ,  5D119FA03 ,  5D119FA05 ,  5D119JA35 ,  5D121BB01 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38