特許
J-GLOBAL ID：200903093567526066
ウエハ搬送用ハンド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331364
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165866
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 カセットC内に収容されている複数のウエハW,W,...をロボットのハンド1により取り出して搬送する場合に、カセットC内の各ウエハWの収容位置にばらつきがあっても、それらウエハW,W,...を確実に把持して取り出すようにする。【解決手段】 ハンド本体2に固定された支持板5と、支持板5先端部の左右両側に設けられた固定爪7,7と、ハンド本体2の左右中央にハンド本体2の進退方向に沿って相対移動可能な移動体14と、移動体14にハンド本体2の進退方向に相対移動可能に弾性支持された可動爪22とを有する把持機構4,4,...を設け、固定爪7,7及び可動爪22間に各ウエハWを把持する。ハンド本体2の左右両側に、ハンド本体2の前進によりウエハW外周縁部を押圧してウエハWをカセットCの内奥面C1に対し所定許容収容位置に至るまで移動させる押え棒34,34を設け、各ウエハWを把持前に常に一定の収容位置に位置決めする。
請求項（抜粋）：
カセット内に収容されているウエハを取り出して搬送するロボットに設けられるウエハ搬送用ハンドであって、ロボットアームに連結されるハンド本体と、上記ハンド本体に設けられ、かつ少なくとも2つの固定爪及び少なくとも1つの可動爪を有し、これら固定爪及び可動爪をウエハ外周縁部の間隔をあけた位置に係合させて該ウエハを把持する把持手段と、上記ハンド本体に設けられ、ハンド本体の前進移動によりウエハの外周縁部を押圧して該ウエハをカセットの内奥面に向けて所定の許容収容位置まで移動させる押え部材とを備えたことを特徴とするウエハ搬送用ハンド。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B25J 15/08
, H01L 21/68
B65G 49/07 F
, B25J 15/08 K
, B25J 15/08 P
, H01L 21/68 S
