特許
J-GLOBAL ID：200903093568171237
液晶表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180921
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026769
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示装置の画素電極層と、これに電圧を印加する駆動用トランジスタとのコンタクト部において、画素電極層や遮光用導電層の段切れを有効に防止し、コンタクト不良や画面上の輝点欠陥を低減する。【解決手段】 画素電極層38の段切れ要因となるアンダーカットが、遮光用導電層66表面に構造上導入されないように、遮光用導電層66を上部コンタクト孔68aのエッジより内側に形成した。一方、遮光用導電層66の段切れ防止に関しては、電極配線層60との間に介在させた層間絶縁層64について、そのコンタクト孔64aの開口端面の少なくとも一部を、電極配線層60にできた段差のテーパ部上に形成させ、アンダーカット部60aを上向きに開口させて、遮光用導電層66の膜構成材の充填性を高めることで対処した。
請求項（抜粋）：
液晶層を挟んで互いに対向して電極が配置されたキャパシタと、当該キャパシタの一方の電極に対し、画像信号に応じて所定電圧を印加する駆動用トランジスタとを各画素ごとに有する液晶表示装置であって、前記駆動用トランジスタが形成された基板上には、駆動用トランジスタの一方の不純物拡散層に接続された電極配線層と、電極配線層上に少なくとも部分的に接続して積層され、駆動用トランジスタへの入射光を遮る遮光用導電層と、遮光用導電層の周縁部と同一面上で当該遮光用導電層の外側に、孔内部の周壁下部を臨ませるような配置のコンタクト孔を有する層間絶縁層と、層間絶縁層上から前記コンタクト孔内の遮光用導電層に接続され、前記キャパシタの一方の電極を構成する透明な画素電極層と、が形成されている液晶表示装置。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, H01L 29/78 619 B
