記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196793
公開番号（公開出願番号）：特開平10-040589
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レジスト原盤の種類に応じ適正フォーカス位置データを数値化して用い初期設定作業を容易に行う。【解決手段】 PD81を位置決めし、レジスト原盤110の回転を停止し、フォーカス用レーザ73を駆動し、ヘッドスライダ制御回路101によりヘッド77を位置決めする。原盤110を回転しフォーカスサーボ回路103を起動し、フォーカス微調整回路99により適正フォーカス位置データに対応しPD81を左右方向に微小移動する。原盤110の回転に依る面振れと微小移動により、PD81の2つの出力端子からの電圧信号の差分が可変し差動増幅器103aは誤差信号が0になるよう記録レンズ77aを上下方向に数μm移動し、ディジタル表示器93の数値情報とフォーカス位置データを比較し、両者の一致時フォーカス位置データを適正フォーカス位置の初期設定に用い、不一致時は数値情報を適正フォーカス位置データとする書換えを行う。

請求項（抜粋）：

レジスト原盤に、適正フォーカス位置に設定された記録レンズを介して記録用レーザ光を露光する記録装置において、前記適正フォーカス位置の初期設定時に前記レジスト原盤に照射されて前記レジスト原盤から反射するフォーカス用レーザ光を受光し、その受光位置と所定の基準受光位置との位置偏差に応じた検出信号を出力する変位可能なレーザ光検出手段と、前記検出信号に応答して前記位置偏差を解消するように前記記録レンズのレジスト原盤に対する相対的な位置を自動的に調整して前記記録レンズを適正フォーカス位置に位置決めするサーボ装置と、前記レーザ光検出手段の変位量を検出する変位量検出手段と、前記変位量検出手段からの出力信号を数値化して表示する表示手段と、を備えることを特徴とする記録装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/08

FI (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/08 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

フオーカス制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-216929 出願人：松下電器産業株式会社
光ディスク原盤露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-216866 出願人：株式会社東芝

審査官引用 (1件)

フオーカス制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-216929 出願人：松下電器産業株式会社

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