特許

J-GLOBAL ID：200903093579786411

振動検出手段の出力安定化方法

発明者： 鷲巣 晃一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丹羽 宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343140
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148962
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 レーザージャイロのスタビリティ向上。【解決手段】 発生するビート周波数が常に一定になる様に駆動電圧を制御する事で半導体レーザー出力の温度等変動をフィードバックループゲイン分の一に抑え込む。角速度は駆動電圧の変動で検出する。サーボループは露光中や起動時は解除する。ビート周波数所定範囲外ではサーボしない。駆動電圧にはリミッタを設ける。ビート周波数の一定化は上記駆動電圧だけでは無く、ディザや半導体表面歪みの変化で制御する例も併記。

請求項（抜粋）：

角速度を検出する振動検出手段の角速度出力を基に該振動検出手段の駆動制御を行う信号制御手段を有することを特徴とする振動検出手段の出力安定化方法。

IPC (5件)：

G01C 19/00 ,  G01C 19/66 ,  G03B 5/00 ,  H04N 5/232 ,  B60R 1/00

FI (7件)：

G01C 19/00 Z ,  G01C 19/66 ,  G03B 5/00 G ,  G03B 5/00 J ,  G03B 5/00 L ,  H04N 5/232 Z ,  B60R 1/00 A

Fターム (10件)：

2F105AA08 ,  2F105BB04 ,  2F105BB07 ,  2F105DD03 ,  2F105DF10 ,  5C022AA13 ,  5C022AB15 ,  5C022AB55 ,  5C022AB66 ,  5C022AC74