特許
J-GLOBAL ID：200903093587302237
被検物の傾き測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡辺 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314928
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133232
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 光源から出射される照射光を有効利用して被検物を照射する際の照射光の光量を大とし、かつ高解像度で被検物の傾きを測定することができる測定装置を提供する。【解決手段】 この被検物の傾き測定装置は、光源11と、受光素子21と、光源11の出射光を平行光にして被検物19に照射し、その反射光を集光して受光素子21に結像するコリメートレンズ18とを備え、受光素子21の結像位置から被検物19の傾きを測定する。そして、光源11とコリメートレンズ18との間の光路中には集光レンズ12が配設されている。一方、コリメートレンズ18の配設位置は、集光レンズ12により集光した焦点位置の光路後方となっている。これによって、集光レンズ12で集光された出射光が、コリメートレンズ18を通して被検物19に効率よく照射され、結像される像の画像認識精度が向上する。
請求項（抜粋）：
光源と、受光素子と、上記光源の出射光を平行光にして被検物に照射し、その反射光を集光して上記受光素子に結像するコリメートレンズとを備え、上記受光素子の結像位置から上記被検物の傾きを測定する被検物の傾き測定装置において、上記光源と上記コリメートレンズとの間の光路中に集光レンズを配設し、かつ上記コリメートレンズの配設位置を上記集光レンズにより集光した焦点位置の光路後方としたことを特徴とする被検物の傾き測定装置。
Fターム (18件)：
2F065AA33
, 2F065CC21
, 2F065DD05
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL46
, 2F065UU07
