干渉性変調

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水初志 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-518276
公開番号（公開出願番号）：特表2000-500245
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】干渉性変調器空胴(200、202)は反射器(208)および誘導吸収体(206)を有する。直視型反射式平面パネルディスプレイには、変調器のアレイが含まれていてもよい。各々の被着物により異なる厚さのスペーサーが提供される、別々に被着されたスペーサーをパターン化するのに用いられるリフトオフ技法によって、さまざまな厚さの隣接スペーサーが基質(204)上に構成される。または、単一の被着物(deposition)中に被着されたスペーサーの厚さをエッチングで選択的に削るためのエッチング処理が可能となるように、パターン成形がなされたフォトレジストを用いてもよい。組み合わされるパターンの干渉性変調器空胴(200、202)からフルカラー静止画像を形成することもできる。各空胴は反射器(208)および誘導吸収体(206)を含み、誘導吸収体(206)はその空胴に関連した1つの色を規定する1つの厚みを有するスペーサーを含む。

請求項（抜粋）：

反射器および誘導吸収体を含む干渉性変調器空胴(interferometric modulat or cavity)。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-199920
特開平2-068513
特開平3-199920

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