特許

J-GLOBAL ID：200903093597024677

熱処理装置

発明者： 花形 哲也 ,  戸木 教夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352469
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201768
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 装置への配管の接続及び保守・点検等を容易にすると共に、装置の設置スペースの狭小化を図り、また、供給される処理ガスの予熱を可能にする。【構成】 ヒーター5により加熱される反応容器1の側壁部の同一箇所に、処理ガス供給口10と処理ガス排気口20を設ける。処理ガス供給口10に接続する供給管13の一部(接続管部14)を、処理ガス排気口20に接続する排気管21の一部(外装管22)内に挿入する。これにより処理ガス供給口10への処理ガス供給管13の接続及び処理ガス排気口20への排気管21の接続作業を容易にすることができると共に、装置の設置スペースの狭小化を図ることができる。また、供給される処理ガスを排気される処理ガスによって暖めることができる。

請求項（抜粋）：

加熱手段により加熱される反応容器に、処理ガス供給口と処理ガス排気口とを設けた熱処理装置において、上記反応容器の側壁部の同一部位に、上記処理ガス供給口と処理ガス排気口とを設けたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324