光学デバイスの検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346742
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】光学素子を架台上面に適正に配置し、検査光を垂直に入射させる。【解決手段】架台120には、光学素子156に対応して、エア流通孔126が形成され、エアチューブ130を介してエア吸引装置に接続されている。また、架台120の上部に設置した押えアーム160の押え部162は、フィルム体154の左右両側の配線パターン152を設けた領域を押える一対の上下方向長手部164A、164Bと、各上下方向長手部164A、164Bと直交する状態で設けられ、フィルム体154における配線パターン152が設けられていない上下両側に位置する領域を押える一対の左右方向長手部166A、166Bとを有する。このような押え部162で、光学デバイス150のフィルム体154を架台120の上面に押え付け、エア吸引装置によって光学素子156を吸引して架台120の上面に密着させる。

請求項（抜粋）：

配線パターンを設けたフィルム体の略中央部に光学素子を搭載した光学デバイスを、移送機構によって移動される架台の上面に装着し、前記光学デバイスの光学素子に検査光を入射して検査を行う光学デバイスの検査装置において、前記架台に設けられたエア流通孔を通して前記光学素子を吸引エアによって架台の上面に吸着するエア吸着手段と、前記光学デバイスのフィルム体を前記架台の上方から押え付けることにより、前記光学デバイスを架台の上面に保持する押えアームとを有し、前記押えアームは、前記フィルム体を架台の上面に押え付ける押え部を有し、前記押え部は、前記光学素子の周囲を取り囲む枠状に形成され、前記フィルム体の全周を押え付けるようにした、ことを特徴とする光学デバイスの検査装置。

Fターム (2件)：

2G086EE01 , 2G086EE10

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