金属蒸着フィルムの抵抗値測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175011
公開番号（公開出願番号）：特開2001-003167
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】フィルムの抵抗値を測定する際の精度を向上させること、およびオンライン方式において、非蒸着部を形成せずに両面蒸着フィルムの表面および裏面のそれぞれの抵抗値を測定する方法を提供すること。【解決手段】原反フィルムロール1から巻き取りロール9に向けて繰り出されて走行する帯状の被蒸着フィルム4の一面に導体金属を蒸着することにより、被蒸着フィルム4上に導体金属層7を積層した金属蒸着フィルムの膜抵抗値Rを前記走行中に測定する金属蒸着フィルムの抵抗値の測定方法であって、渦電流式コイルセンサー5、8によって、導体金属層7に発生した渦電流を測定して電圧Vに変換し、電圧Vにより金属蒸着フィルムの抵抗値Rを以下の近似式により測定する、金属蒸着金属蒸着フィルムの抵抗値の測定方法:R=a/V2+b/V+c(ここで、a、bおよびcは定数である)。

請求項（抜粋）：

原反フィルムロール(1)から巻き取りロール(9)に向けて繰り出されて走行する帯状の被蒸着フィルム(4)の一面に導体金属を蒸着することにより、前記被蒸着フィルム(4)上に導体金属層(7)を積層した金属蒸着フィルムの膜抵抗値Rを前記走行中に測定する金属蒸着フィルムの抵抗値の測定方法であって、渦電流式コイルセンサー(5;8)によって、前記導体金属層(7)に発生した渦電流を測定して電圧Vに変換し、前記電圧Vにより前記金属蒸着フィルムの抵抗値Rを以下の近似式により測定する、金属蒸着フィルムの抵抗値の測定方法:R=a/V2+b/V+c(ここで、a,bおよびcは定数である)。

IPC (4件)：

C23C 14/54 , C08J 7/06 , G01N 27/72 , G01R 27/02

FI (4件)：

C23C 14/54 Z , C08J 7/06 A , G01N 27/72 , G01R 27/02 R

Fターム (28件)：

2G028AA01 , 2G028AA02 , 2G028BC02 , 2G028CG02 , 2G028DH04 , 2G028FK01 , 2G028GL11 , 2G028HN15 , 2G053AA24 , 2G053AB21 , 2G053BA16 , 2G053BB03 , 2G053BC02 , 2G053CA03 , 2G053CA17 , 2G053CA18 , 2G053DA01 , 4F006AA35 , 4F006AB73 , 4F006BA07 , 4F006CA08 , 4F006DA01 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA03 , 4K029BB04 , 4K029BD00 , 4K029EA00

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