特許

J-GLOBAL ID：200903093609028355

露光装置

発明者： 根井 正洋
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 飯塚 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-219193
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050588
出願日： 1996年08月01日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 ウエハステージ部に温度変動が生じても、移動鏡及び基準マークの位置関係を保持して、正確な露光動作を行う。【解決手段】 露光光量を計測する場合、露光光が入射して照射量モニタ28の温度が上昇する。この熱は、ウエハテーブル14に伝達される(F1)。露光動作時には、露光光のエネルギーを吸収してウエハ10の温度が上昇する。ウエハ10の熱は、ウエハホルダ12側に伝達され(F2)、あるいはウエハテーブル14に伝達される(F3)。ステージ移動を行うと、モータ駆動によってウエハテーブル14に熱が伝達される(F4)。これらの熱は、ウエハホルダ12及びウエハテーブル14の循環路30,32中の熱媒体によって排出され、熱の影響による移動鏡20,基準マーク24の変位が抑制される。

請求項（抜粋）：

アライメントを行うための基準マーク及び位置計測のための移動鏡が設けられたテーブルと、露光基板を保持するホルダとが、ステージ上に設けられている露光装置において、前記ホルダ及び前記テーブルに、前記基準マーク及び前記移動鏡に対する熱の移動を制御するための温度制御手段を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G