特許
J-GLOBAL ID：200903093610474741
表面観察装置および記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046976
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258071
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 プローブと試料間に発生するトンネル電流または力(原子間力)等を利用して試料表面を観察する装置における距離サーボ信号に生じる誤差を補正するとともに力勾配、トンネル障壁等の距離変調信号において発生する誤差を実時間で補正すること。【構成】 探針と試料との間に働く力を該探針を支持する弾性体の変形から検出する手段と、前記弾性体の支持部と試料間との距離変位を制御する手段と、前記弾性体の変形に伴って発生する探針先端の微小変位を検出する手段と、前記微小変位出力に基づいて前記距離変位制御出力である探針先端と試料間の距離変位を補正する手段とを備える。
請求項（抜粋）：
探針と試料との間に働く力を該探針を支持する弾性体の変形から検出する手段と、前記弾性体の支持部と試料間との距離変位を制御する手段と、前記弾性体の変形に伴って発生する探針先端の微小変位を検出する手段と、前記微小変位出力に基づいて前記距離変位制御出力である探針先端と試料間の距離変位を補正する手段とを備えることを特徴とする表面観察装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
