特許
J-GLOBAL ID：200903093610940963

ウエハの製造方法と粘着テープ

発明者：
石渡 伸一

石渡 伸一 について


出願人/特許権者：
古河電気工業株式会社

古河電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 飯田 敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-168291
公開番号（公開出願番号）：特開2004-072084
出願日： 2003年06月12日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】薄膜化したウエハの形状保持および搬送に於ける性能を維持すると共に、ウエハへの貼り合せおよびウエハからの剥離など既存装置との適合性を確保した、ウエハ薄膜化研削および薄膜化ウエハ搬送方法を提供する。さらにこの方法に使用するのに好適な薄膜化研削加工時の粘着テープを提供する。【解決手段】(a)研削前に、予めウエハ表面に粘着テープを貼合する工程と、(b)ウエハの研削加工終了後に当該粘着テープのウエハ形状保持層をウエハの形状を平坦形状のままに保持し得る硬度に硬化させる工程を有する、ウエハの製造方法とそれに用いる粘着テープ。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)研削前に、予めウエハ表面に粘着テープを貼合する工程と、(b)ウエハの研削加工終了後に当該粘着テープのウエハ形状保持層をウエハの形状を平坦形状のままに保持し得る硬度に硬化させる工程を有することを特徴とする、ウエハの製造方法。
IPC (3件)：
H01L21/304 ,  C09J7/02 ,  C09J201/00
FI (3件)：
H01L21/304 631 ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00
Fターム (7件)：
4J004AB01 ,  4J004CC03 ,  4J004CD02 ,  4J004FA05 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20
引用特許：
審査官引用 (3件)

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