特許
J-GLOBAL ID：200903093620503880
真空アーク蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213560
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061388
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 カソード上の全域にわたってアークスポットの位置を検知して、カソード上のアークスポットの位置を任意に制御することにより、基材の表面に所望の膜厚の蒸着膜を形成することができる真空アーク蒸着装置を提供する。【解決手段】 アノードとカソードを有し、このカソードを構成する金属を基材の表面に蒸着する真空アーク蒸着装置において、前記カソードが棒状であり、この棒状のカソードの軸方向に平行に、複数個のアークスポット検出用センサーを設ける。
請求項（抜粋）：
アノードとカソードを有し、このカソードを構成する金属を基材の表面に蒸着する真空アーク蒸着装置において、前記カソード面に正対し、カソード面から等距離に、かつ、カソードの長辺又は長径方向に、複数個のアークスポット検出用センサーを設けてなることを特徴とする真空アーク蒸着装置。
FI (2件)：
C23C 14/24 U
, C23C 14/24 F
