特許
J-GLOBAL ID：200903093621456800
アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195744
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026052
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【目的】 ピストンの軸シール用ベローズが不要な小型で、熱負荷に対しても、繰り返し作動に対してもシール部の耐久性に優れ、クリーンルーム内での組立時溶接や焼取りが不要で、クリーンルーム内が汚染されず、組立、分解、部品交換が容易なアクチュエータを提供する。【構成】 高温に曝される弁を空気圧に関連して制御するアクチュエータに於いて、ピストンと軸を切り離し、ピストンの移動方向と逆に軸を移動させるカムを内蔵して弁を開閉するようにすると共に、ピストンの高圧空気導入側の周縁とハウジングキャップとの間に耐熱性のベローズを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
請求項（抜粋）：
高温に曝される弁を空気圧に関連して制御するアクチュエータに於いて、ピストンと軸を切り離し、ピストンの移動方向と逆に軸を移動させるカムを内蔵して弁を開閉するようにすると共に、ピストンの高圧空気導入側の周縁とハウジングキャップとの間に耐熱性のベローズを設けたことを特徴とするアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 31/126
, F15B 15/10 G
