特許

J-GLOBAL ID：200903093621713063

磁気誘導素子用コイル

発明者： 松崎 一夫
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265221
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120036
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】集積回路装置と組み合わせて用いる変圧器やインダクタ等の小形の磁気誘導素子のコイルの電流容量を向上させる。【構成】集積回路装置等の半導体装置20が表面側に作り込まれるチップ10の半導体基板10の裏面側から溝31を深く掘り込んで溝面を絶縁膜32で覆い、コイル導体33として銅等の高導電性金属を無電解めっき法等によって溝31内に充填してコイル30を構成することにより、磁気誘導素子の小形化のためにコイル導体33の配列ピッチを微細化しても、基板11の裏側の従来に遊んでいたスペースを有効に利用しながら必要に応じて溝31を深く掘り込みコイル導体33の高さを増すことによりコイルの電流容量を向上できるようにする。

請求項（抜粋）：

半導体装置と組み合わせて用いられる磁気誘導素子のコイルであって、半導体装置用チップの基板の裏面側にコイルのパターンに掘り込まれた溝と、溝面を含むチップの裏面側に被着された絶縁膜と、絶縁膜で覆われた溝に充填された高導電性金属からなるコイル導体とを備え、コイル導体を突起電極を介して相手方の配線導体と接続して半導体装置とともに相手方に実装するようにしたことを特徴とする磁気誘導素子用コイル。