静電チャック装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157811
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012712
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】高い静電気発生量を有するとともに、静電チャックの寿命を著しく延ばし、高性能加工品を量産することができる経済的で信頼性の高い静電チャック装置を提供する。【解決手段】静電チャック装置は、厚さ方向にスリット状の貫通孔11を設け、裏面の該貫通孔に隣接した部分に凹部12が形成された金属基盤1と、該金属基盤上に接着剤層を介して接着された静電チャック用シート2とよりなり、その静電チャック用シートには、貫通孔の形状に沿って、一端がつながっているスリット状の切り込み部分2aが形成され、その切り込み部分2aが金属基盤の貫通孔11を貫通して裏面の凹部に接着剤を介して接着しており、凹部に接着された切り込み部分の電極層の一部が露出している。

請求項（抜粋）：

厚さ方向にスリット状の貫通孔を設け、裏面の該貫通孔に隣接した部分に凹部が形成された金属基盤と、該金属基盤上に接着剤層を介して接着された静電チャック用シートとよりなり、該静電チャック用シートには、貫通孔の形状に沿って、一端がつながっているスリット状の切り込み部分が形成され、該切り込み部分が金属基盤の貫通孔を貫通して裏面の凹部に接着剤を介して接着しており、凹部に接着された切り込み部分の電極層の一部が露出していることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

前のページに戻る